crosslight仿真之(四)物理模型-3-掺杂


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可以设置的位置

1.在in文件中使用:

除了在工艺流程中注入掺杂元素,还需要在末尾增加激活语句,方能生效。如:

implant phosphorus dose=1.5E12 energy=150 activation.mode phosphorus fraction=1 force.activation=t

2.在layer文件中使用:

除了常规含doping的语句(随便找一个例子)

adjust_doping可以更精细的设置掺杂的属性。

3.在sol文件中使用:

doping

求解sol文件时

1. 通常场景

默认使用shallow dopants 非全部激活的激活的载流子服从费米分布

2.使用full_ionization可以全部激活掺杂

3.重掺模型

掺杂距离接近波尔半径时,可以用重掺模型dopant_ionization_model。

重掺杂,可以用指令来控制每种材料,如在sol文件中添加:

dopant_ionization_model mater = 3 mott_trans_correction = nol

4. 低温高激活能时

使用pf_model参数

5. 扫描doping

相关命令:newdoping_index

sol文件仿真的时候,除了可以对器件进行扫描电压,电流,时间外,还可以扫描doping

这里扫描doping纯粹是一个概念,他没有对应的物理场景。

跟扩散doping随时间变化不同,这里的doping可以和时间无关,是针对某个区域的doping做纯粹数值上的逐渐变化。

由于低doping时收敛会有困难,这样的做的好处是,可以在一个新的维度上从高到低,逐渐降低器件的掺杂,得到器件最终状态时电性。

当然这里的前提是要对器件预先有充分的理解,知道这样的中间过程不会影响最终的结果才可以做这种操作。

不到万不得已,尽量不要用这种技巧。

6. 载流子密度

根据文件中的band_valleys的数量得出态密度。金属和电阻的 DOS mass 默认设为0.1。DOS mass 按1:1计算传输量

cond_dos_mass_ratio_n:电子和态密度的比值

cond_dos_mass_ratio_p:空穴和态密度的比值

condj_mass_para:第j个谷平行量子阱的载流子数量

condj_mass_perp:第j个谷垂直量子阱的载流子数量

欢迎留言交流,依据您的意见做修改补充。